В.П. Запорожский. Обработка полупроводниковых материалов

В книге приведены основные сведения о технологическом процессе производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, описаны режимы обработки, причины возникновения брака и способы его устранения; процессы механической обработки пластин, разделения их на кристаллы, изготовления фотошаблонов; устройство, наладка, правила эксплуатации типового оборудования и др.

Издательство: Высшая школа
Год: 1988
Страниц: 184
Формат: DJVU

 

Скачать книгу (2,3 МБ):