А.С. Сигов. Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.
Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Издательство: Юрайт
Год: 2019
Страниц: 271
Формат: PDF
Язык: русский
Скачать книгу (19,6 МБ):
Этот блок был удален по требованию правообладателя. Если вы считаете,
что это ошибка, обратитесь к Администратору.
gefexi 26/01/20 Просмотров: 1743
+3